• 儀器用途

TM-320多用途精密測(cè)量顯微鏡可用于半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、精密機(jī)械加工、橡塑材料等領(lǐng)域的精密測(cè)量，也可作為高級(jí)金相顯微鏡用于金相材料觀察和分析。儀器自帶偏光裝置兼具高級(jí)偏光顯微鏡功能，適合于工廠、研究所、大專院校等用于產(chǎn)品檢測(cè)、觀察和分析。儀器符合人機(jī)工程學(xué)要求的設(shè)計(jì)，使您在工作中感到舒適和放松。

• 儀器規(guī)格

（一）測(cè)量范圍：           X: 300mm; Y: 200mm

（二）數(shù)顯分辨率：         0.0005mm

（三）工作臺(tái)尺寸：    500×350mm  (玻璃臺(tái)面尺寸：356×262mm)

（四）儀器測(cè)量準(zhǔn)確度：     ≤（3+L/75）um （L為被測(cè)長(zhǎng)度）

（五）儀器的質(zhì)量：         100kg

（六）儀器外形尺寸：       560×820×670mm

（七）輸入電壓：           AC220/50Hz ±10%

（八）光學(xué)基本參數(shù)

1、光學(xué)系統(tǒng)：無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)，鏡筒透鏡f=200mm

2、觀察鏡筒：正像，人性化三目，觀察角度0°～45°可調(diào)

3、物鏡：95mm平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離復(fù)消色差物鏡M Plan Apo

4、物鏡轉(zhuǎn)換器：大四孔物鏡轉(zhuǎn)換器

5、偏光裝置：檢偏鏡可360°轉(zhuǎn)動(dòng)。起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路

（九）照明光源

1.反射照明：  柯勒照明（帶孔徑光欄和視場(chǎng)光欄），鹵素?zé)?/span>12V50W，光強(qiáng)度連續(xù)可調(diào)

2.透射照明：  遠(yuǎn)心照明，鹵素?zé)?/span>12V50W，光強(qiáng)度連續(xù)可調(diào)

3.斜射照明：  12V，50W （雙鹵鎢燈、光強(qiáng)度連續(xù)可調(diào)）（選購(gòu)件）

（十）CCD接口

采用標(biāo)準(zhǔn)C接口、可連接CCD和數(shù)碼相機(jī)進(jìn)行影像測(cè)量